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ALD/CVD成膜材料

ALDCVD材料.png

  • 様々な薄膜用途向けの20種類以上の元素に基づく60 種類以上プリカーサー材料

  • シリコン系：3MS、BTBAS、3DMAS、etc.

  • メタル系系：TDMAT、TBTEMT、TEMAZ　　　　　　

  • New La/Mo/W/Ru/Y  etc. Precursors

IC前工程製品清单.jpg

上記リスト以外の成膜や洗浄材料の場合、ご相談ください。

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